Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測量原理：低相干邁克爾遜干涉儀  

如圖所示：

Light Source(短相干光源)發出短相干光束，經Beamsplitter分束成兩束光，這兩束光通過準直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上；
在測量臂段，光束經待測物前后兩表面反射產生兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經光纖返回到Beamsplitter 中，此時掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發生干涉產生兩干涉信號經探測器(光電二級管)轉換為電信號再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準確移動，當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時，才能夠發生干涉。這樣通過監控參考鏡的移動，就可以 測量被測鏡的位置。

非接觸式測厚儀特點

1. 非接觸式、非破壞性； 
2. 實時在線測量或離線測量； 
3. 可單次測量多層膜，最高可測 20 層； 
4. 探針靈活配置，實現多個不同目標測量 （最多可配8個探頭）； 
5. 測試速度快（1s） 
6. 適用范圍廣 
 

非接觸式測厚儀性能參數：

測厚儀應用領域：

Lumetrics 產品既可以提供獨立的測量頭，也可以集成在各種設備中，廣泛應用在以下領域，

1、光電子行業：

2 、薄膜行業：測量塑料薄膜的厚度

3 、醫療行業：測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等

4、單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度測試：浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量